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문해력 책 하이닉스, ‘최첨단 EUV 장비’로 D램 생산

작성일 25-09-07 23:23

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문해력 책 SK하이닉스가 메모리 업계에서 처음으로 양산용 차세대 극자외선(EUV) 노광장비를 이천 M16 공장에 반입했다고 3일 밝혔다. 치열한 반도체 경쟁 속에서 첨단 제품을 신속하게 개발·공급하기 위한 업계의 핵심 인프라 확보 움직임이 빨라지는 모습이다.
SK하이닉스가 도입한 장비는 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 ‘트윈스캔 EXE:5200B’다. 차세대 노광장비인 ‘하이(High) 뉴메리컬어퍼처(NA·렌즈가 빛을 얼마나 많이 모을 수 있는지 나타내는 수치) EUV’ 가운데 대량 생산을 위한 첫 모델이다. ASML은 첨단 반도체 제조 공정에 필요한 EUV 노광장비를 생산하는 유일한 기업으로 ‘슈퍼 을’로 불린다.
해당 모델은 반도체 업계 전체에서 인텔이 가장 먼저 들여왔고, 메모리 업계에선 SK하이닉스가 처음이다. SK하이닉스는 우선 1대를 도입했다. 가격은 대당 5000억원이 넘는 것으로 전해진다. 삼성전자는 지난 3월 연구·개발용 하이 NA EUV 모델을 도입해 파운드리(위탁생산) 및 메모리 제품 개발에 활용하고 있는 것으로 알려졌다. 향후 삼성전자를 비롯한 다른 메모리 기업들도 양산용 모델을 도입할 것으로 예상된다.
EUV 노광장비는 반도체 원재료인 웨이퍼에 빛을 쏴 미세한 회로 패턴을 그리는 데 사용되는 첨단 제조장비다. 네덜란드 정부가 대중국 수출을 통제하는 품목이기도 하다. 하이 NA EUV는 기존 EUV보다 더 큰 NA를 적용해 해상도를 크게 높였다. 현 수준에서 가장 미세한 회로 패턴 구현이 가능해 선폭 축소와 집적도 향상에 핵심 역할을 할 것으로 기대된다. 다만 새 장비가 실제 대량 생산에 활용되기까진 시간이 걸릴 것으로 보인다.
반도체 제조업체가 생산성과 제품 성능을 높이려면 미세공정 기술 고도화가 필수다. 회로를 더 정밀하게 구현할수록 웨이퍼당 칩 생산량이 늘어나고 전력 효율과 성능도 함께 개선되기 때문이다.
SK하이닉스는 2021년 10나노급 4세대 D램에 EUV를 처음 도입한 이후 최첨단 D램 제조에 EUV 적용을 확대해왔다.
새 장비는 기존 EUV 대비 40% 향상된 광학 기술로 1.7배 더 정밀한 회로 형성이 가능하고 2.9배 높은 집적도를 구현할 수 있다.
SK하이닉스는 “장비 도입으로 EUV 공정을 단순화하고 차세대 메모리 개발 속도를 높여 제품 성능과 원가 경쟁력을 확보할 방침”이라며 “고부가가치 메모리 시장에서 입지를 강화하고 기술 리더십을 공고히 할 수 있을 것”이라고 했다.
한편 인공지능(AI) 연산을 지원하는 고부가가치인 고대역폭메모리(HBM) 시장을 선점한 SK하이닉스는 올해 1분기에 이어 2분기에도 글로벌 D램 시장 1위를 차지했다. 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 매출 기준 2분기 점유율은 SK하이닉스가 38.7%, 삼성전자가 32.7%, 마이크론이 22.0%였다.
이날 개최된 장비 도입 기념행사에는 김병찬 ASML코리아 사장, SK하이닉스 차선용 최고기술책임자(CTO·부사장), 이병기 제조기술 담당 부사장 등이 참석했다. 김 사장은 “SK하이닉스와 긴밀히 협력해 차세대 메모리반도체 기술 혁신을 앞당길 수 있도록 적극 지원하겠다”고 밝혔다.
법무부가 수원구치소를 대상으로 실태조사를 벌이고 있는 것으로 확인됐다. 수원구치소에서 형을 살고 있는 이화영 전 경기평화부지사가 제기한 ‘쌍방울그룹 대북송금’ 사건 관련 술자리 회유 의혹을 조사하기 위해서다.
4일 경향신문 취재를 종합하면, 법무부는 정성호 법무부 장관이 내린 지시에 따라 수원구치소에 대한 실태조사를 진행하고 있다. 조사는 이 전 부지사가 제기한 술자리 회유 의혹과 관련해 교도관들의 불법이나 복무규정 위반 행위 등이 없었는지 살펴보기 위해 이뤄지는 것으로 알려졌다.
앞서 이 전 부지사는 지난해 법정에서 “쌍방울그룹의 대북송금 사건을 이재명 대통령과 엮기 위해 수원지검에서 술자리를 마련해 회유하려 했다”는 취지로 증언했다. 쌍방울그룹이 경기도를 대신해 북한에 800만 달러를 송금했다는 내용을 당시 도지사였던 이 대통령에게 보고했다고 허위 진술하도록 회유했다는 것이다.
법무부는 윤석열 전 대통령이 수감 생활을 하고 있는 서울구치소에 대해서도 실태조사를 진행하는 등 수감시설에 대한 고강도 조사를 이어가고 있다. 윤 전 대통령이 구치소 수용 중 특혜를 받았다는 의혹에 대해 실태조사 후 강의구 전 대통령실 제1부속실장을 경찰에 고발했다.
이 전 부지사는 쌍방울그룹으로부터 억대 뇌물을 받고 800만달러 규모의 대북송금을 공모한 혐의로 징역 7년8개월이 확정돼 수원구치소에서 형을 살고 있다. 이 대통령은 이 사건과 관련해 제3자 뇌물혐의로 지난해 6월 기소됐다.
김하성(30·애틀랜타)이 새 유니폼을 입고 빅리그로 돌아왔다. 김하성은 3일 미국 일리노이주 시카고 리글리필드에서 열린 시카고 컵스 원정경기에 6번 유격수로 나가 4타수 2안타를 때렸다.
탬파베이에서 지난달 22일 부상자 명단에 올랐던 김하성은 2일 애틀랜타로 전격 이적했고 이날 바로 선발 출격했다. 7회초 컵스 좌완 불펜 드류 포머란츠의 커브를 밀어쳐 첫 안타를 쳤고, 3-4로 추격하던 9회초 2사 1루에도 상대 마무리 대니 팔렌시아의 강속구를 받아쳐 안타로 만들었다. 경기는 3-4 애틀랜타의 패배로 끝났다.
김하성은 빅리그에서 전천후 내야수로 활약해왔다. 2023년 골드글러브도 유틸리티 야수로 받았다. 그러나 이제 붙박이 유격수로 남은 시즌을 치른다. 브라이언 스닛커 애틀랜타 감독은 ‘김하성을 유격수 외 다른 포지션에서 활용할 수도 있느냐’는 질문에 “김하성은 유격수다. 그게 우리가 그를 영입한 이유”라고 잘라 말했다.
스닛커 감독은 “샌디에이고에서 뛸 때부터 김하성을 정말 좋아했다. 유격수는 구하기 힘든 포지션인데 검증된 선수를 데려왔다”면서 “혹시 문제가 생기면 하루쯤 쉴 수 있겠지만, 그렇지 않다면 매일 경기에 나설 것”이라고 덧붙였다.
유격수 고정 출전은 선수에게도 희소식이다. 김하성은 “어떤 선수든 한자리에서 뛰는 게 좋다. 제 커리어 내내 주 포지션은 유격수였다”며 “무엇보다 시즌을 건강하게 좋은 모습으로 마무리하고 싶다”고 새 출발 각오를 밝혔다.
어깨 염증으로 부상자 명단에 있던 김혜성(26·LA 다저스)도 이날 복귀했다.
김혜성은 펜실베이니아주 피츠버그 PNC 파크에서 피츠버그와 치른 원정경기에 6-9로 뒤지던 9회초 대주자로 출전해 1득점을 올렸다. 지난 7월29일 이후 36일 만의 메이저리그 복귀다.
우여곡절이 있었다. 김혜성은 2일 미국 중부에 위치한 오클라호마시티에 있다가 동부 피츠버그로 이동했는데 항공편이 연착돼 일정이 꼬였다. 합류가 크게 늦어지면서 이날 경기 선발 명단에서는 제외됐지만 대주자로서 빠른 발을 증명하며 존재감을 알렸다.
김혜성은 “항공편이 연착하면서 환승 편을 놓쳤다. 어젯밤 통역과 함께 공항 바닥에서 잤다”며 “14~15시간을 공항에서 보낸 것 같다. 아침, 점심, 저녁 세 끼를 모두 공항에서 먹었다”고 고단했던 복귀 여정을 소개했다.